تفاصيل الوثيقة

نوع الوثيقة : رسالة جامعية 
عنوان الوثيقة :
ضبط محتوى الاكسجين والسمك لأفلام رقيقة من أكسيدالتنتانيوم والنوبيوم المترسبة بالتناثر لتطبيقات المواد عالية ثابت العزل
TUNING THE OXYGEN CONTENT AND THICKNESS OF THE SPUTTERED TA AND NB OXIDES NANOSTRUCTURED THIN FILMS FOR THE HIGH-K MATERIALS APPLICATIONS
 
الموضوع : كلية العلوم 
لغة الوثيقة : العربية 
المستخلص : تم ترسيب اغشية رقيقة من خامس أكسيد النيوبيوم وخامس أكسيد التانتاليوم على ركائز من السليك ون والزجاج تحت نفس الظروف باستخدام جهاز الترسيب بالنثر. لقد استخدمت أقراص من عنصري النيوبيوم والتانتاليوم النقي كأهداف داخل جهاز 3 الترسيب مع امرار غاز االرجون المخلوط مع غاز االكسيجين بنسبة 95 إ ل ى 5 بمعدل ثابت 90 سم في الدقيقة. وقد ُسمح لحامل الركائز بالد وران بسرعة ثابتة طوال وقت الترسيب. استخدمت طاقات الترسيب الُموجهة على النيوبيوم)والتانتاليوم(بقيم بدأت من 200 واط الى 300 واط بمرحلة 25 واط. بذلك أمكن التحكم في كمية المعدن الُمرسب وبالتالي التحكم في كمية االكسجين المؤكسد له. أثبتت اختبارات االشعة السيني ة ان االغش ية التي تم الحصول عليها بهذه الطريقة هي اغشية غير متبلورة. وباستخدام المجهر االليكتروني الفائق الدقة تم التحقق من انتظامية السطح والسمك وكذلك تجانس توزيع أكسيد النيوبيوم ) أ و التانتاليوم( داخل الغشاء الرقيق. باستخدام التحليل العنصري لألغشية الرقيق ة تم الكشف عن انتظامية التوزيع الذري للنيوبيوم مقابل االكسجين داخل االغشية الرقيقة. التحليل القطاعي الطيفي أمكن من استخالص قيم معامالت انكسار االغشية التي أتت عالية القيمة كما هو متوقع وفي نفس الوقت تم الحصول على اغشية رقيقة عالية النفاذية للضوء وأيضا عريض ة فجوة الط اقة. بذلك أمكن تحضير اغشية رقيقة سمكها اقل من 40 نانومتر ذات فجوة طاقة تصل الى 4 الكترون فولط نافذة للضوء مكنونة من أكسيد النيوبيوم الخماسي )او أكسيد التانتاليوم الخماسي( تصلح للمشاركة في تطبيقات خزانات الطاقة و الذاكرات عشوائية الوصول الدينامية. 
المشرف : د. احمد الشهري 
نوع الرسالة : رسالة ماجستير 
سنة النشر : 1442 هـ
2020 م 
تاريخ الاضافة على الموقع : Sunday, February 28, 2021 

الباحثون

اسم الباحث (عربي)اسم الباحث (انجليزي)نوع الباحثالمرتبة العلميةالبريد الالكتروني
مهند عبدالله الحارثيAl-Harithi, Muhannad Abdullahباحثماجستير 

الملفات

اسم الملفالنوعالوصف
 46910.pdf pdf 

الرجوع إلى صفحة الأبحاث